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PBS-510xx-C1型薄膜真空计属于高精度计量器具，应定期计量检定。用于检定的标准器其精度应高于被检定仪器的一个精度等级以上。使用中若需调校零点，必须要有较高真空度的真空源。建议平时尽量不要随便自行调校，可送（具有该项目CNAS检定资质的）当地行政计量技术机构检定调校和校准。建议的计量检定周期为一年。
一般根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
薄膜电容又称CBB电容，它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类，聚丙烯膜的特性是高频损耗极低、电容量稳定性很高、负温度系数较小、绝缘电阻*、介质吸收系数极低、自愈性好、介电强度等。电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。
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