测量金相显微镜如何校准误差

测量金相显微镜是用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的显微镜，它具有稳定性好、成像清晰、分辨率高、视场大而平坦的特点。因其对被测物进行既定性又定量地进行分析，故对金相显微镜的校准工作。

    1、测量金相显微镜的溯源

    由于各种金相显微镜的用途不同，故其类型、结构及精度亦不同，因而溯源关系和方式也不同。通过不同的技术手段和方法，我们终可溯源到“单刻线样板标准器组”和“0.01mm标准测微尺”标准器组。

    2、校准项目的设立

    (1)物镜场曲

    将一物镜安装好，将0.01mm标准测微尺放在工作台上并压紧；旋转调焦旋钮，将焦点调整在测微尺的中间，视场中间成像清晰，此时将千分表测头与工作台表面相接触并对好表的零位；再次旋转调焦旋转，把焦点调整到测微尺的边缘，使视场边缘成像清晰。观察千分表，其大偏移量即为该物镜的场曲误差，其余物镜以此类推进行校准。

    物镜场曲误差的指标如下：10X＜0.2mm、25X＜0.1mm、40X＜0.07mm、63X＜0.065mm、100X＜0.04mm

    (2)物镜放大倍数的正确性

    装上10X标准目镜和被检物镜，将0.01mm标准没微尺放在工作台上并压紧。观察时测微尺应与目镜中的分划板相符合，其偏移量测是放大倍数的误差。其余物镜以此类推进行校校准，其误差不大于5%

    (3)目镜分划板的准确度

    将带分划板目镜的镜头旋下，把分划板放置在万工显工作台上并调好焦距；调整工作台，使分划板的水平线与万工显纵向导轨行程平行并对好零位，按每20格测量一次，直到第100格，其误差不大于5um。

    (4)物镜成像清晰范围

    用被检物镜及10X目镜对测微尺或金相试样进行调焦，使成像清晰。当视场中间像清晰时，测得视场内的成像清晰范围的误差不低于60%

    (5)各物镜相对于目镜的格值

    装上被检仪器的10X目镜，将0.01mm标准测微尺（使用随机0.01mm测微尺）放在工作台上并压紧；调整测微尺标尺轴线与仪器目镜分划板标尺轴线平行，并读出目镜分划板i条刻线里包含测微尺n条刻线数，该物镜相对于目镜的格值为：C=n/i*0.01mm.其余物镜的格值以此类推进行校准。