当前的高效过滤器方法有:粒子计数器法、光度计法。光度计法不如粒子计数法灵敏。粒子计数法,以粒子计数器作为检测仪器,使用单分散或多分散气溶胶,灵敏度高,多用于高效过滤器。
粒子计数器跟光度计的区别在于,光度计采用火焰光度计,对NACL燃烧的火焰色度作响应,灵敏度低,且NACL对微电子产品质量有害,国外已不用。
检测仪器可使用气溶胶光度计或粒子计数器。粒子计数器检测的是粒子数量的分布,以粒/L单位表示。而光度计检测的是粒子质量浓度,以mg/L表示,多数量分布粒子与大浓度分布的粒子并不处于同一粒径。粒径与重量成三次方关系,大粒径的粒子在浓度分布中占有较大的比重,因此在检测效率过滤时,使用粒子计数器和光度计得到的结果有差别,与粒子计数器相比,光度计灵敏度很低,因此不用来检测H13级以上高效过滤器,对于制药企业高效过滤器的捡漏而言,光度计使用方便,检测结果易以判断,对泄露检测比较敏感和广泛应用。
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