探针式台阶仪的功能及应用

探针式台阶仪的功能及应用

探针式轮廓仪（台阶仪）主要用于材料的结构及表面解析，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。

同时按照应用的领域不同，要求不同，台阶仪的型号也多种多样，下面以我们优尼康提供的一款型号为P-17的台阶仪为例，简单介绍下这款仪器的功能以及应用，以供大家参考了解台阶仪可以做什么，有哪些功能，该型号为常用款，如有更高需求也可以咨询我们，会为大家更合适的机台。

主要功能有：

·台阶高度：几纳米至1000μm
·微力恒力控制：0.03至50mg
·样品全直径扫描，无需图像拼接
·视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
·圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
·软件：简单易用的软件界面
·生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用：

·台阶高度：2D和3D台阶高度

·纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

·形状：2D和3D翘曲和形状

·应力：2D和3D薄膜应力

·缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED：发光二极管
·太阳能
·MEMS：微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备
·还有更多，请与我们联系以满足您的要求