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大功率整流电源要求高频直流电源的电流容量大、击穿电压高、散热性能好，但这种器件的结面积大、结电容大，因而工作频率很低，一般在几十千赫以下。硅材料的禁带宽度较大，导热性能良好，适于制作大功率高频直流电源件。在耐高压的高频直流电源装置中常采用高压硅堆，它由多个高频直流电源件的管芯串联组成，其反向耐压由管芯的耐压及串联管芯数决定，zui高耐压可达几百千伏。如果高频高频直流电源电路用于很高频率下，当交流电压的周期与高频直流电源通态到关态的恢复时间相当时，高频直流电源对高频电压不再起整流作用。为适应高频工作的需要，通常在硅高频直流电源中采用掺金的方法，以缩短注入少数载流子的寿命，从而达到减小恢复时间的目的。
为了减小器件因过压击穿造成损坏的可能性和提高高频直流电源装置的可靠性，可采用硅雪崩高频直流电源。在这种器件中，当反向电压超过允许峰值时，在整个PN结上发生均匀的雪崩击穿，器件可工作在高压大电流下，故能承受相当大的反向浪涌功率。制作这种器件时要求材料缺陷少，电阻率均匀，结面平整，外露结区还应进行适当保护，避免发生表面击穿。硒高频直流电源的抗过载容量大，承受反向浪涌功率的能力也较强。
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