涂层测厚技术---轮廓仪法和光切法

1)轮廓仪法  

轮廓仪法又称角出针法,它是采用试样涂前屏蔽或涂后溶解的方式, 使基体某一部分除去涂层,在基体和涂层之间形成一个台阶。通过轮廓仪的探针运动来测量台阶的高度而得到涂层的厚度值。 该法可以测量较宽范围的涂层厚度。 可测范围从0.01 ~ 1000µm的各种涂层, 准确度为±10%以内 。

轮廓测厚仪有电子记录针式仪和表面轮廓记录仪两种 。

2)光切法  

光切法又称干涉显微镜法。其试样的制作与轮廓仪测厚法相同,即造成一个基体和涂层的台阶, 利用多光束干涉显微镜对该台阶高度测量, 从而获得涂层的厚度值。 该方法可测量2µm以下, 具有较高反射率的各种涂层厚度。

光切法测量涂层的厚度, 是通过干涉测量仪, 一个贴于试样作平面基准板的透镜, 当一束单色光在上述试样上和透镜之间来回反射时, 可观察到在光学平面和试样表面之间产生的干渉带图象,若将基准板相对子被测涂层表面稍微倾斜,则干渉带的图象以平行的光亮带和暗带交替出现, 当干渉带在基体与涂层的台阶处时, 干渉带的图象会产生相对位移, 其位移量是试样表面与光学平面位差的量, 所以, 通过带测微目镜和干渉显微镜观察和测量干渉带位移距高, 即可测出涂层的厚度值,,干渉显微镜的使用方法, 可参照仪器的使用说明书要求进行。