纳米加工是在纳米尺度下进行设备的设计与制造。如果您需要加工纳米级的结构，使用离子或电子等带电粒子将是您的*。 离子或电子束与样品表面之间的相互作用可以用于表面结构或表面特性的操控。不同的气体组合使用，能够控制复杂的流程，如进行材料刻蚀或材料沉积。这样便可以创建具有复杂的机械、电子、光学、磁性或流体功能的新材料和系统。
纳米加工、图案和光刻
现今与未来的应用需要材料具备更佳的电子、磁性、光学和机械特性。大部分的这类需要 100nm 以下的结构和组份来定义。蔡司是能够提供从毫米到纳米范围结构加工解决方案的供应商。 您还可以使用 ORION NanoFab 多离子显微镜加工具有高深宽比的亚 10 nm 结构。这一技术的优势在于氦和氖离子束光刻不会产生任何邻近效应，从而获得均一的嵌套图案，且无需进行剂量调整。
纳米光子学、等离子学和超材料
超材料是一种人造材料，通过改变表面结构来修改其光磁特性。光子晶体结构可以提高光学器件的性能，这一点对透射光和光学测量的所有产品非常有用。 FIB 图案解决方案是建立这种结构的高性能工具。而 ORION NanoFab 则是加工等离子结构的良好仪器，该结构可在光学频率或更高频率范围内呈现出表面或局部等离子效应。
石墨烯研究
石墨烯是很有前景的新型材料。如果将其加工成特定形状，您就能够调节其某些特性，比如带隙。石墨烯是一种非常易碎的材料，因为它只有单个原子的厚度，所以需要非常精细的加工。凭借 ORION NanoFab 精细且的加工能力，您可以加工亚 10 nm 级的复杂石墨烯设备。
纳米颗粒
纳米颗粒在催化剂领域或现代纳米材料应用领域至关重要。您希望以纳米乃至亚纳米级尺度表征大小、形状、化学组份及分布，当然也需要检测纳米颗粒中小颗粒的重要特性。 ATLAS 3D 软件能以较高分辨率进行大面积样品采集，从而让您可在聚合物基质中查找特定纳米颗粒并对其进行分析。