校验/标定K1550氦气分析仪的安全注意事项

警告

当校验K1550的时候，模拟输出和报警处于“冻结”或“锁定”状态。在校验仪表前，要确保停用与仪表相连的所有控制回路；同时也要确保工艺处于安全状态，并且标准气被安全排放。

警告

这里所陈述的一些操作步骤假定排到环境中的样气不会造成诸如窒息、易燃等之类的危险。用户/操作者有责任确保不造成任何危险。如果有可能导致危险，需相应地改变方法。

校验/标定K1550氦气分析仪前准备：

1. 校验气

完整的校验需要如下两种瓶装标准气。

1). 纯度为99.999%以上的高纯氮气，用来校验仪表的“低点”。

2). 氦含量在满量程值的20% - 100%之间的氮氦混合气，注意：标气中的氦气含量越接近工艺气中的氦含量，校验效果越好。

2. 校验气与仪表的气路连接

标准气气瓶上必须装有压力调节阀和压力表，用来控制进入仪表的标准气压力，只需些微打开压力阀，使标气以稍高于环境压力进入仪表即可。

压力调节阀和压力表里可能有一定量的死区，因此，可能需要吹扫几分钟，输送进入仪表的气体才会与气瓶里的气体一致。只有当读数稳定时，才表明死区已被吹扫干净。

输送校验气的气路不可有任何泄露。必须控制气体流量，管道中的气体流量应该与来自工艺的样气流量相同（250毫升/分左右）。建议使用金属管道或硬塑料，因为它不易损坏，且不易出现泄露。

3. 设置高点校验气浓度

在开始校验程序之前，要正确输入高点校验气体浓度。

按如下程序输入高点校验气体浓度：

a. 按VIEW键；

b. 使用↑↓移动到Calibration Gas （校验气体）；

c. 按Edit键。然后使用↑↓调节数值，使用Edit键依次移动到每个数字；

d. 调节完毕，按VIEW 键回到检测模式。

校验校验/标定K1550氦气分析仪步骤

分析仪应该与工艺气体隔离，且通入分析仪的标准气体的压力和流量都要合适 – 与检测工艺气时的压力和流量相接近。

进入校验模式

按住Calibrate（校验）键（通常8秒钟），直到仪表显示：

Calibration Mode

↑ for Upper cal.

↓ for Lower cal.

VIEW to exit

这表示已进入校验模式。

低点校验

选择向下箭头进入“Lower cal.(低点)”校验部分。以合适的压力和流量通入前述第1种标准气（纯度为99.999%以上的高纯氮气），观察被检测值的读数。待读数稳定时（通常为通气十几分钟左右），按“Meas. Cal. Gas”(检测校验气)键，让分析仪检测气体且重新计算“低点”校验点。如果“低点”校验已被通过，分析仪将显示“Measuring...”，然后回到进入校验模式时的高一级显示。但如果检测值太高或太低，那么显示校验错误。如果这样的信息出现，则需要返修。

高点校验

在菜单：

Calibration Mode

↑ for Upper cal.

↓ for Lower cal.

VIEW to exit

中选择向上箭头进入“Upper cal.(高点)”校验部分，以合适的压力和流量通入前述第2种标准气（氮氦混合气），观察被检测值的读数。待读数稳定时（通常为通气十几分钟左右），按“Meas. Cal. Gas”(检测校验气)键，让分析仪检测气体且重新计算“高点”校验点。如果“高点”校验已被通过，分析仪将显示“Measuring...”，然后回到进入校验模式时的高一级显示。但如果检测值太高或太低，那么显示校验错误。如果这样的信息出现，则需要返修。

校验完毕，按VIEW键退出校验模式，回到正常检测模式。

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安利三维（天津）科技有限公司

2019-07-08