气体质量流量控制器使用将先进的执行器控制技术和阿自倍尔自有的微流量热质量流量传感器相结合的检测单元。 
由于μF传感器的特性，可在广泛的流量控制范围内实现快速响应。 
这些控制器适用于制造厂用于玻璃加工的低压气体，钎焊过程中的火控，以及传统质量流量控制器无法轻易调节的其他过程。 
我们多元化的产品阵容扩大了可能的应用范围。

主要特点
反应快
具有非常小的热质量的微型MEMS传感器直接与气体​​接触以实现快速响应。
高准确率
我们的μF传感器随着时间的推移几乎不会改变其特性，确保长时间的高精度。
广泛的产品阵容
为了满足客户的应用需求，有多种产品可用于测量0-5 mL / min至500 L / min的各种流量范围。
降低压力损失
通过在通道壁上安装μF传感器，可将这些仪表中的压力损失保持在zui低水平，从而将突起和由此产生的流动阻力降至zui低。因此，它们非常适合测量和控制低压下的气体流量。
各种功能
我们通过开发控制设备而获得的丰富的微型计算机技术提供了传统质量流量计中的一系列功能。 
这些功能包括瞬时或累计流量显示，气体类型切换，上限和下限报警输出，模拟量输出，累加器脉冲输出和通讯功能。（可用的功能取决于特定的产品。）
质量流量测量
这些仪表可以测量空气或气体的流量，并将其转换为标准条件，而不管操作温度和压力如何。 
（换算成标准状态的流量是1个大气压和0℃[或20℃]时的体积流量。）
测量范围宽
传统的气体流量计在测量低流速时通常比在接近其zui大限度的流速时更难以测量。阿自倍尔专有的μF传感器可以实现更广泛的测量和控制。CMS系列质量流量计的可调比高达100：1，CML系列高流量质量流量计的可调比高达160：1（测量范围为1,280：1）！ 
这些质量流量计非常适用于控制空气或气体消耗，并通过检查泄漏来节省能源。

如有相关需求请点击：日本AZBIL山武质量流量控制器介质说明