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概述
希望准确检测” 从部件到成品，品质检查的方方面面
近来，随着产品设计多样化，检查外观时对单个部件的品质管理要求越来越高，人们期望能够在不降低生产节拍的情况下进行品质检查，实现“边移动边稳定测量”。ZW-7000/5000系列充分发挥了白光共焦方式的优点，即使各种材质和形状混在一起也能进行稳定测量
用小光点如实测量
激光位移传感器在测量段差及间隙时，存在发生多面反射导致形状轮廓模糊、边缘检测位置波动、位置检测精度下降等问题。ZW-5000凭借10μm的小光点，可避免发生多面反射，形状轮廓清晰，从而提高位置检测精度。
倾斜·曲面
相较于以往的激光位移传感器，即使是光泽面也能进行倾斜、曲面的高精度形状测量。
材质混在一起
根据材质的不同，以往的激光位移传感器需要改变传感头的种类和安装方向，每次都要花费调整时间。
白光共焦位移传感器无需区分使用传感头和安装方向，可边移动边进行各种材质的测量。
粗糙面*2的平坦度
使用以往的激光位移传感器时，来自工件的多重反射光会诱发测量值跳动，因此无法掌握本来希望测量的“平坦度”。另外，传感头的朝向和测量线的方向会造成更大的偏差。
白光共焦位移传感器不受多重反射光的影响，可1次性测量近似于实际形状的高度。
忠实测量工件形状的高速采样
使用激光位移传感器时，移动测量会导致精度劣化，需要增加平均次数，因此出现了形状再现性较差的问题。ZW-7000可实现短20μs的高速采样，即使无平均化处理，也可忠实测量形状。
*1. 使用传感头ZW-S7010/ZW-S5010时的代表值。
*2. 有切削痕迹、测量线等的工件。
在制造现场，为了提高生产效率，机器人和工作台在组装和检查中得到广泛应用。
随着制造装置本身不断小型化，需要简化测量设备中的装置组装和操作。
ZW-7000/5000系列的传感头利用了白光共焦方式的优点，超小型、轻量化，可轻松安装到有空间限制的装置和移动部，有助于加快生产节拍。
缩短时间：多台传感器同时测量
凭以往的激光位移传感器的尺寸，在空间受限的情况下难以进行多台传感器并行测量。ZW-7000/5000系列可并行安装超小型传感头，从而缩短时间。
缩短时间：缩短振动停止的等待时间
例如，在使用电动汽缸时，仅在需要时将传感头移至测量部位的情况下，由于超小型、轻量化的传感头在汽缸停止后的振动较少，因此可缩短振动停止的等待时间，实现快速测量。
省略工序：无需传感头的旋转工序
以往的激光位移传感器在光反射到受光元件上的位置测量工件高度，因此需要根据测量对象物体的形状和移动方向执行传感头的旋转工序，造成了花费多余时间的问题。白光共焦位移传感器无方向限制，在相同安装条件下，可在所有方向进行移动测量。
可动部位也可放心使用，耐弯曲光纤电缆
控制器与传感头通过直径3mm的耐弯曲光纤电缆连接。通过300万次的弯曲测试*，尽可放心地应用于可动部位。
* 本公司规定的评估条件“弯曲半径(20mm)×300万次”
增加延长用光纤电缆
测定点无偏差
以往的激光位移传感器的测量点和光点尺寸会随高度而变，因此受到挠度及倾斜的影响，可能会无法准确测量目标位置。ZW-7000/5000系列白光共焦位移传感器在测量范围内的任意位置均能通过同一个测量点进行准确测量。
可实现狭窄空间和墙边的测量
以往的激光位移传感器在测量细小管道的深处及微小凹陷部的高度时，反射光会被壁面遮挡，需要每次调整传感器和工件的方向。ZW-7000/5000系列白光共焦位移传感器的照射光与反射光相对于工件同轴，因此与安装方向无关，可对狭窄空间及微小的工件进行测量。
ZW-7000
| 形状 | 测量范围 | 光点 直径 | 静止 分辨率 * | 电缆 长度 | 型号 |
|---|---|---|---|---|---|
 |  | φ50μm | 0.004μm | 2m | ZW-S7010 2M |
| 0.3m | ZW-S7010 0.3M | ||||
 | φ70μm | 0.008μm | 2m | ZW-S7020 2M | |
| 0.3m | ZW-S7020 0.3M | ||||
 | φ100μm | 0.016μm | 2m | ZW-S7030 2M | |
| 0.3m | ZW-S7030 0.3M |
| 形状 | 名称 | 电缆长度 | 型号 |
|---|---|---|---|
 | 传感头与控制器之间延长用光纤电缆 (连接适配器 ZW-XFCM附带) | 2m | ZW-XF7002R |
| 5m | ZW-XF7005R | ||
| 10m | ZW-XF7010R | ||
| 20m | ZW-XF7020R | ||
| 30m | ZW-XF7030R | ||
 | 连接适配器 (传感头引出电缆与延长用光纤电缆之间 延长用光纤电缆ZW-XF70□□R随附) | - | ZW-XFCM |
ZW-5000
| 形状 | 测量范围 | 光点 直径 | 静止 分辨率 ＊ | 电缆 长度 | 型号 |
|---|---|---|---|---|---|
 |  | φ9μm | 0.004μm | 2m | ZW-S5010 2M |
| 0.3m | ZW-S5010 0.3M | ||||
 | φ13μm | 0.008μm | 2m | ZW-S5020 2M | |
| 0.3m | ZW-S5020 0.3M | ||||
 | φ18μm | 0.016μm | 2m | ZW-S5030 2M | |
| 0.3m | ZW-S5030 0.3M |
| 形状 | 名称 | 电缆长度 | 型号 |
|---|---|---|---|
 | 传感头与控制器之间延长用光纤电缆 连接适配器 ZW-XFC2附带) | 2m | ZW-XF5002R |
| 5m | ZW-XF5005R | ||
| 10m | ZW-XF5010R | ||
| 20m | ZW-XF5020R | ||
| 30m | ZW-XF5030R | ||
 | 连接适配器 (随附于延长用光纤电缆 ZW-XF50□□R) | - | ZW-XFC2 |
ZW-7000/5000通用
| 形状 | 名称 | 电缆长度 | 型号 |
|---|---|---|---|
 | 并行电缆 (ZW-7000□/5000□用32极) (控制器 ZW-7000□/5000□随附) | 2m | ZW-XCP2E |
 | RS-232C电缆 PC连接用 | 2m | ZW-XRS2 |
 | RS-232C电缆 PLC/可编程终端连接用 | 2m | ZW-XPT2 |
| 名称 | 形状 | 厂家 | 电缆 长度(m) *1 | 型号 |
|---|---|---|---|---|
| 小型 两侧带接插件电缆 (RJ45/RJ45) 尺寸、线芯数(对数)： AWG26×4P 电缆护套材质： LSZH *2 电缆颜色： 黄色 *3 |  | 欧姆龙 株式会社 | 0.3 | XS6W-6LSZH8SS30CM-Y |
| 0.5 | XS6W-6LSZH8SS50CM-Y | |||
| 1 | XS6W-6LSZH8SS100CM-Y | |||
| 2 | XS6W-6LSZH8SS200CM-Y | |||
| 3 | XS6W-6LSZH8SS300CM-Y | |||
| 5 | XS6W-6LSZH8SS500CM-Y | |||
| 坚固型 两侧带接插件电缆 (RJ45/RJ45) 尺寸、线芯数(对数)： AWG22×2P |  | 欧姆龙 株式会社 | 0.3 | XS5W-T421-AMD-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMD-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMD-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMD-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMD-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMD-K | |||
| 坚固型 两侧带接插件电缆 (M12/RJ45) 尺寸、线芯数(对数)： AWG22×2P |  | 欧姆龙 株式会社 | 0.3 | XS5W-T421-AMC-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMC-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMC-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMC-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMC-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMC-K | |||
| 坚固型 两侧带接插件电缆 (M12 L型/RJ45) 尺寸、线芯数(对数)： AWG22×2P |  | 欧姆龙 株式会社 | 0.3 | XS5W-T422-AMC-K |
| 0.5 | XS5W-T422-BMC-K | |||
| 1 | XS5W-T422-CMC-K | |||
| 2 | XS5W-T422-DMC-K | |||
| 5 | XS5W-T422-GMC-K | |||
| 10 | XS5W-T422-JMC-K |
尺寸、线芯数(对数)：AWG24×4P
| 名称 | 形状 | 厂家 | 型号 |
|---|---|---|---|
| 电缆 | - | 日立电线株式会社 | NETSTAR-C5E SAB 0.5 × 4P CP * |
| - | 仓茂电工株式会社 | KETH-SB * | |
| - | 昭和电线电缆系统株式会社 | FAE-5004 * | |
| - | JMACS株式会社 | IETP-SB * | |
| RJ45连接器 | - | 泛达公司 | MPS588-C * |
尺寸、线芯数(对数)：AWG22×2P
| 名称 | 形状 | 厂家 | 型号 |
|---|---|---|---|
| 电缆 | - | 仓茂电工株式会社 | KETH-PSB-OMR * |
| - | JMACS株式会社 | PNET/B * | |
| - | 昭和电线电缆系统株式会社 | FAE-5002 * | |
| RJ45组装式连接器 |  | 欧姆龙株式会社 | XS6G-T421-1 * |
| 项目 | 型号 | ZW-S7010 | ZW-S7020 | ZW-S7030 | ZW-S5010 | ZW-S5020 | ZW-S5030 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 适用传感器控制器 | ZW-7000□ | ZW-5000□ | |||||
| 测定中心距离 | 10mm | 20mm | 30mm | 10mm | 20mm | 30mm | |
| 测量范围 | ±0.5mm *1 | ±1mm *1 | ±2mm *1 | ±0.5mm | ±1mm | ±2mm | |
| 静止分辨率 *2 | 0.004μm | 0.008μm | 0.016μm | 0.004μm | 0.008μm | 0.016μm | |
| 线性度 *3 | ±0.45μm | ±0.9μm | ±2.0μm | ±0.45μm | ±0.9μm | ±2.0μm | |
| 光点直径 (测量范围内整区) *4 | φ50μm | φ70μm | φ100μm | φ9μm | φ13μm | φ18μm | |
| 测量周期 *5 | 20μs～400μs | 80μs～1600μs | |||||
| 使用环境照度 | 物体表面照度30000Lx以下：白炽灯 | ||||||
| 环境温度范围 | 工作时：0～+50℃、保存时：-15～+60℃ (不结冰、不凝露) | ||||||
| 环境湿度范围 | 工作时/保存时：35～85%(不凝露) | ||||||
| 保护构造 | IP40(IEC60529) | ||||||
| 振动(耐久) | 10～150Hz(单振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分钟 | ||||||
| 冲击(耐久) | 150m/s2、6个方向、各3次(上下、左右、前后) | ||||||
| 温度特性 *6 | 0.6μm/℃ | 1.1μm/℃ | 1.8μm/℃ | 0.6μm/℃ | 1.1μm/℃ | 1.8μm/℃ | |
| LED的安全性 | 风险组3(IEC62471) | ||||||
| 材质 | 箱体：铝压铸 光缆包层部：PVC 校准ROM：PC | ||||||
| 光缆长度 | 0.3m、2m(耐弯曲电缆) | ||||||
| 光缆小弯曲半径 | 20mm | ||||||
| 绝缘电阻(校准ROM) | 外壳与所有端子间：20MΩ(250V兆欧表) | ||||||
| 耐压(校准ROM) | 外壳与所有端子间：AC1000V、50/60Hz、1分钟 | ||||||
| 重量 | 光缆长度0.3m 约170g 光缆长度2m 约180g | ||||||
| 附件 | 校准ROM固定用螺钉(M2)、 吊带(2个)、 使用说明书、 使用注意事项 | 校准ROM固定用螺钉(M2)、 吊带(1个)、 使用说明书、 使用注意事项 | |||||
*1.测量范围在测量周期为28μs以上时
*2.在测量中心距离对本公司标准镜面对象物体进行平均次数16384次测量时的实效值 与出口贸易管理法规对应控制器(ZW-7000T/5000T)连接时，无论传感头和设定条件如何，小分辨率都为0.25μm。 *3.设定本公司标准对象物体的材质：相对于镜面测量时的理想直线的误差
*4.以测量波长的峰值光强度的1/e2(13.5%)定义的实效值
*5.连接了5m以上的延长用光纤电缆时，测量周期(曝光时间)的设定范围会发生变化。
*6. 用铝夹具固定传感头和对象物体之间，在相同温度环境下设置传感头和控制器时的测量中心距离的测量值变化量
控制器
| 项目 | 型号 | ZW-7000□ | ZW-5000□ | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 输入输出类型 | NPN/PNP通用 | |||||
| 传感头连接台数 | 1台 | |||||
| 适用传感头 | ZW-S70□□ | ZW-S50□□ | ||||
| 测量用光源 | 白色LED | |||||
| LED的安全性 | 风险组3(IEC62471) | |||||
| 段显示 | 主数字显示 | 11段白色显示、6位 | ||||
| 辅数字显示 | 11段绿色显示、6位 | |||||
| LED 显示 | 状态指示灯 | HIGH(橙色)、PASS(绿色)、LOW(橙色)、 STABILITY(绿色)、ZERO(绿色)、 ENABLE(绿色)、THRESHOLD-H(橙色)、 THRESHOLD-L(橙色)、RUN(绿色) | ||||
| EtherCAT指示灯 | ECAT RUN(绿色)、L/A IN(Link/Activity IN)(绿色)、 L/A OUT(Link/Activity OUT)(绿色)、ECAT ERR(红色) | |||||
| 外部 接口 | Ethernet | 100BASE-TX/10BASE-T 无协议(TCP/UDP)、EtherNet/IP | ||||
| EtherCAT | EtherCAT协议100BASE-TX | |||||
| RS-232C | 大115,200bps | |||||
| 模拟 输出端子台 | 模拟量电压输出(OUTV) | -10V～+10V、输出阻抗：100Ω | ||||
| 模拟量电流输出(OUTA) | 4mA～20mA、大负载电阻：300Ω | |||||
| 32极 扩展连接器 | 判定输出 (HIGH/PASS/LOW) | 晶体管输出方式 输出电压：DC21.6～30V 负载电流：50mA以下 ON时剩余电压：2V以下 OFF时漏电流：0.1mA以下 | ||||
| BUSY输出(BUSY) | ||||||
| 报警输出(ALARM) | ||||||
| 启用输出(ENABLE) | ||||||
| 漏型标志输出(SYNFLG) | ||||||
| 触发BUSY输出 (TRIGBUSY) | ||||||
| 记录状态输出 (LOGSTAT) | ||||||
| 记录错误输出(LOGERR) | ||||||
| 稳定性输出(STABILITY) | ||||||
| 任务状态输出 (TASKSTAT) | ||||||
| LIGHT OFF输入 (LIGHT OFF) | DC输入方式 输入电压：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 输入电流：7mA Typ.(DC24V) ON电压/ON电流：19V/3mA以上 OFF电压/OFF电流：5V/1mA以下 | |||||
| 归零输入(ZERO) | ||||||
| 时间输入(TIMING) | ||||||
| 复位输入(RESET) | ||||||
| 漏型输入(SYNC) | ||||||
| 触发输入(TRIG) | ||||||
| 记录输入(LOGGING) | ||||||
| BANK | 选择时 BANK输出 (BANK_OUT1～3) | 晶体管输出方式 输出电压：DC21.6～30V 负载电流：50mA以下 ON时剩余电压：2V以下 OFF时漏电流：0.1mA以下 | ||||
| BANK 选择输入 (BANK_SEL1～3) | DC输入方式 输入电压：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 输入电流：7mA Typ.(DC24V) ON电压/ON电流：19V/3mA以上 OFF电压/OFF电流：5V/1mA以下 | |||||
| 主要 功能 | 曝光时间 | 自动/固定 | ||||
| 测量周期 *1 | 20μs～400μs | 80μs～1600μs | ||||
| 材质 | 标准/镜面/粗糙面 | |||||
| 测量项目 | 高度/厚度/运算 | |||||
| 滤波器处理 | 中值/平均/微分/高通/低通/带通 | |||||
| 输出 | 缩放/各种保持/归零/测量值记录 | |||||
| 显示 | 测量值/阈值/模拟量输出电压值或电流值/ 判定结果/分辨率/曝光时间/内部记录状态/峰值受光量 | |||||
| 设定登录数 | 多8个BANK | |||||
| 任务处理 | 多任务(1个BANK多4个任务) | |||||
| 系统 | 保存/初始化/测量信息显示/通信设定/ 传感头校正/键锁定/归零存储/时间输入 | |||||
| 额定值 | 电源电压 | DC21.6V～26.4V(含波动) | ||||
| 消耗电流 | 800mA以下 | |||||
| 绝缘电阻 | 所有导线和FG端子间：20MΩ(250V兆欧表) | |||||
| 耐压 | 所有导线和FG端子间：AC500V、50/60Hz、1分钟 | |||||
| 耐环境性 | 保护构造 | IP20(IEC60529) | ||||
| 振动(耐久) | 10～55Hz(单振幅0.35mm)、X/Y/Z各方向 50分钟 | |||||
| 冲击(耐久) | 150m/s2、6个方向、各3次(上下、左右、前后) | |||||
| 环境温度范围 | 工作时：0～+40℃、保存时：-15～+60℃ (不结冰、不凝露) | |||||
| 环境湿度范围 | 工作时/保存时：35～85%(不凝露) | |||||
| 接地 | D型接地(接地电阻100Ω以下) *以往的第三种接地 | |||||
| 材质 | 箱体：PC | |||||
| 重量 | 约900g(仅本体)、约150g(并行电缆) | |||||
| 附件 | 并行电缆(ZW-XCP2E) 光纤清洁剂10支(ZW-XCL) 使用说明书 会员注册表 | 并行电缆(ZW-XCP2E) 光纤清洁剂10支(ZW-XCL) 光纤适配器盖 吊带(1个) 使用说明书/会员注册表 | ||||
ZW-7000□
ZW-5000□
具体内容详见：欧姆龙OMRON光纤同轴位移传感器ZW-7000 / 5000系列
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