SENSIRION气体质量流量计SFM5300资料

SENSIRION气体质量流量计SFM5300是一款适用于大批量成本敏感的OEM项目。
SFM5300质量流量计具有的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围，尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。

SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合材料，其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。

SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性，并适用于在类似的应用，这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。

SENSIRION气体质量流量计SFM5300性能参数
低流量的高度（< 1 sccm）
优良的精度/可重复性（分别为测量值的2% / 0.2%）
宽动态范围（量程比1000:1）
尺寸紧凑(downmount安装连接)
多气体和气体识别
数字接口
高度可配置
MTBF 169年-无需再校准

SENSIRION气体质量流量计SFM5300应用
分析仪器（如气相色谱、质谱、热分析）
医疗器械（如呼吸机、麻醉机）
工业过程自动化（如涂覆、热处理）
半导体产业（如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）

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