通常,标准的晶圆薄片生产可以分为以下步骤:
1、现场规范的刨削和修整
2、对多孔或易碎的材料进行浸渍软化处理(可选)
3、初步研磨切割材料
4、制备均匀厚度的载玻片
5、将样本粘合到制备的载玻片上
6、稀释粘合的样本
7、将样品研磨至选定的厚度
8、抛光样本(可选)
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