产品推荐:气相|液相|光谱|质谱|电化学|元素分析|水分测定仪|样品前处理|试验机|培养箱


化工仪器网>技术中心>解决方案>正文

欢迎联系我

有什么可以帮您? 在线咨询

晶圆抛光百科

来源:北京华沛智同科技发展有限公司   2018年07月12日 13:17  

Logitech公司50多年来一直专注于高精密设备的设计和制造,具有丰富的复杂材料加工处理经验。Logitech精密研磨抛光系统在半导体晶圆表面处理、晶圆减薄(背减)和形状控制方面提供大量的技术解决方案。选择Logitech,我们的专家团队将与您一起将相关工艺和系统整合到您的晶圆制备项目中。

Logitech系统通常可加工处理硅、砷化镓、镉碲化镉、磷化铟、汞碲化镉、硫化镉等多种材料。

晶圆抛光

 


特征工艺:

1. 晶圆衬底的粘接工艺,可满足低、中、高不同的精度要求;

2. 可通过单头自动、单工作站或多工作站不同的设备配置完成用户所需的磨抛工作;

3. 提供High Speed System、 Tribo系统 、 Orbis系统等多种选择,可满足一般的化学机械抛光和专门的化学腐蚀抛光要求;

4. 提供配套的测量及检测设备,可进行辅助工艺过程和终测试

免责声明

  • 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618