美国MKS真空计技术交流主题

美国MKS真空计（Vacuum Gauge），c真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
按照美国MKS真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的美国MKS真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的美国MKS真空计。
美国MKS流量计型号及功能原理介绍，美国MKS流量计利用力学性能的美国MKS真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型美国MKS真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型美国MKS真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

波尔登规（Bourdon）
波尔登规
波尔登规
细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。
薄膜电容规
薄膜电容规
薄膜电容规
美国MKS流量计在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。
皮拉尼电阻规
皮拉尼电阻规
皮拉尼电阻规
也叫做热电阻美国MKS真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。
美国MKS流量计由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。
如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。
这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。
热电偶规
热电偶规
热电偶规
热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致，只是它不用测量热丝电阻的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。
测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。
与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。
热阴极电离规
热阴极电离规
热阴极电离规
热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。
这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。
经改进后的热阴极电离规，Bayard-Alpert规，可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定。
冷阴极电离规
冷阴极电离规
冷阴极电离规冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量，但与热阴极电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。
这种规的测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。

美国MKS 主要产品：MKS流量计,MKS薄膜真空计,MKS传感器,MKS开关,MKS压力传感器,MKS真空硅,MKS发生器,MKSMKS氟离子/臭氧反应气体发生器,MKS压力控制阀。
1179B23CR14V-SPC 626B11TDE 999-42 1579A00 422LS1BV 0248A-14 128 1179A01353CS1BV 220DA-00010B2B 223BD-00001AAB 1559A00451LG1BV 626A11TDE 626A13TED 1179A13CS1BV.MFC N2 1000SCCM 1179A13CS1BV.MFC N2 3000SCCM 2179A23CS1BV.MFC N2 2000SCCM 2179A23CS1BV.MFC N2 1000SCCM 626A01TDE 1179A01552CR1AV 1179A06352CR1AV 579A01351LM3BV/VIPON50SLM 627BX01MCC9B 1179BX23CR14VSPC1/V1ton 1579A01351LM3BV/VIPON50SLM M100B01334CS1BV 1179MFC, CH4 500CCM, 1/4'' , Tube， 15PIN D 1179MFC, H2S 500CCM, 1/4'' , Tube， 15PIN D 1179MFC, CO 500CCM, 1/4'' , Tube， 15PIN D 1179MFC, O2 500CCM, 1/4'' , Tube， 15PIN D 247D 
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
 MKS Baratron Pressure Switch (41A & 51A)
 MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
 MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
 MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
 MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
 MKS PAR-10 BARATRON
 MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
 MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
 MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
 MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
 MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
 MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
 MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
 MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBE UNITY II
 MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORR UNITY II
 MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
 MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
 MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
 MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
 MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
 MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999 

美国MKS真空计技术交流主题