keysight 1077 长距离直线度光器件

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描述

Keysight 1077 结合了直线度干涉仪和反射镜，可在 1 至 30 米（3 英尺至 100 英尺）的行程距离内进行测量。 该光器件构成了一个高度的光学直角尺，可以测量机床行程和坐标测量机运动的直线度，分辨率为 0.1 微米（10 微英寸）。

Keysight 1077（与 Keysight 5530 校准系统配合使用）是一个大型元器件，可对干涉仪系统进行量身定制以满足每个应用的物理版图和测量要求。

直线度测量精度

总体精度 = 光参考精度 + 测量精度。

与使用直角尺和指示器进行直线度测量的传统方法类似，光参考精度相当于直角尺精度，而测量精度相当于指示器精度。

光参考精度

直角尺（反射镜）反转技术可消除光参考不确定度。

公制单位模式： ±0.015 M2 µm

英制单位模式： ±0.05 F2 µin

其中：

M = 移动光器件的行程距离（单位：米）。

F = 移动光器件的行程距离（单位：英尺）。

测量精度

温度范围显示值：

0 µm 至 100 µm，100 至 1,500 µm

0 µm 至 4000 µm，4000 至 60,000 µm

15°C 至 25°C，±5%±2.5%±02.55 µm（10 µin）

0°C 至 40°C，±7.5%±2.5%±5 µm（20 µin）

直线度测量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

0.1 µm（4 µin）、36 µm（14 µin）

直线度测量范围（正交至轴向移动）

±1.5 mm（0.060 英寸）

轴向分离（移动）

（干涉仪和反射镜之间的距离，典型值，经过恰当的对准，15°C 至 25°C）： 1 m 至 30 m（3 英尺至 100 英尺）

对空气扰动的反应具有高精度和低灵敏度

可与 Keysight 55283A 直线度测量套件配合使用，以扩展距离范围

高分辨率平面镜

适用于各种是德系统（包括 Keysight 5530 校准器系统）