四探针电阻率方阻测试︱四探针探头的选择 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
四探针电阻率方阻测试︱四探针探头的选择: 四探针探头是四探针法测试电阻率/方阻测试系统的关键部件。探头通过四根探针,以适当的压力和点阵形式与样品接触,连接四探针仪器后,实现四探针法电流的加载,电压的取样。应根据样品的物理特性,如是固体还是粉末,是一般硅片、金属等硬质材料还是柔性薄膜、涂层、ITO膜类材料,是单一导电层材料还是复合导电层,样品的尺寸大小等条件来选择探头的压力和点阵形式,选择型号。 表2《四探针探头型号规格特征选型参照表》
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