测量前，首先确保待测表面干净无污染。
表面阻抗
1 、平行探头阻抗测量法(Parallel Probe ResistivityMethod)
平行探头阻抗测量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993标准的测量方法，这是一种快速的测量平面均匀材料电阻值的方法。这种方法也适合于多层材料的测量，但是在阻抗值报告中必须注明测量时的温度和湿度条件。 A 、将表放在待测量的物体表面。
B、将开关调到所需的电压位置(10伏或100伏)
C、以大约5磅的压力持续按下测量按钮，此时LCD屏会显示出测量的表面阻抗，温度和相对湿度值，整个测量过程大约为十五秒种。
·表面阻抗单位为欧姆/□
·温度单位为摄式
·相对湿度单位为百分比
在每次测量中，按下测量按钮后，测试仪将连续显示修整测量值，松开按钮后约四十五秒内，显示的是zui后一个测量值。
2 、同心环探头阻抗测量法（Concentric Ring Probe Resistivitymethod）（同心环探头为选购件）
将连线插头插入表的两个 3.5毫米插孔，并将香蕉插头与同心环探头 (选购件)相联。将探头放在待测试物体表面后，按下按钮约15秒钟后，在液晶显示屏上将显示出正确的温度和相对湿度，正确的表面阻抗值为液晶显示屏上的读数乘以 10，单位为欧姆/□。 例如：
晶屏上显示为3.5×10 4 欧姆/□；实际阻抗值为3.5×10 5 欧姆/□。
二、表面电阻测量（点对点） (Surface ResistanceMeasurement （RTT）)
这个测量方法是符合EOS/ESD-S4.1测量要求来测量独立于接地的两点之间的电阻，用这个测量方法得出的测量结果与被测物体的处理、两个5磅探头之间的距离等因素有关，因此，应选择正确的测量规程，每次在同样要求的测量条件下进行测试。 A 、将连线插头插入表的两个3.5毫米插孔，并将香蕉插头与两个5磅重探头相联。
B、按照测量规程将两个探头放置在待测物体表面。
C、选择所需的电压值(10伏或100伏)
D、按下开关直到显示出所选的电压值(10伏或100伏)，继续按着开关直至所测电阻（单位为欧 姆），相对湿度和温度显示在液晶显示屏上。
电阻测量
这个测量方法是用于测量物体表面一点与表面上另一接地点之间的表面电阻，测量方法符合EOS/ESD S4.1测量标准。
A 、将两条连线的一端分别插入表的两个3.5毫米插孔，然后将其中一条接鳄鱼夹，另外一条与一个5磅重盘形探头相联。
B、将鳄鱼夹子接到所知的接地点上，按照测量要求将盘形探头放在待测物体表面上。
C、按下测量按钮直至电阻（单位为欧姆）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，测量结果符合EIA，EOS/ESD，ANSI， IEC-93,CECC,ASTM测量标准，对于高阻抗材料的测量时为保证测得高精度测量结果，需注意不要使两引线交叠，不要用手接触探头，引线和被测物体。
校准步骤
1 、范围为10 3 到10 12 具有精度1%的阻抗电桥。高精度相对湿度表(Relative Humidity Hygrometer)高精度温度表(High accuracy Thermometer)
2、打开表盖，小心切莫损伤电路板上两条连接电源开关的导线。
3、找到电路板右下方三个校正调节器(Calibration Pots)
4、使表在这一环境条件下起码1/2小时，取得自平衡后才可开始测试。
5、采用测试仪自带的连接线一端连接上鳄鱼夹，另一端香蕉插头。
6、将3.5毫米长的插头插入表的插口。
7、用鳄鱼夹连接电阻器两端。
8、三个校正调节器，zui上面的为“湿度”测量，中间的为“阻抗”，zui下面的为“温度用小号螺丝刀调节”。顺时针方向为增加值调节，逆时针方向为降低值调节。
9、按下电源开关，同时比较“温度”，“湿度”和“电阻”值。
10、释放电源开关，并慢慢调节相应的校正调节器。
11、再次按下电源开关，观察LCD显示屏。
12、如需要再校准，可再按下电源开关和调节校正器。
13、盖上表盖并将四个固定螺丝上紧。
14、按下电源开关确定表是否工作正常。
电阻测试仪使用方法
1）熟读接地电阻测量仪的使用说明书，应全面了解仪器的结构、性能及使用方法。
2）备齐测量时所必须的工具及全部仪器附件，并将仪器和接地探针擦拭干净，特别是接地探针，一定要将其表面影响导电能力的污垢及锈渍清理干净。
3）将接地干线与接地体的连接点或接地干线上所有接地支线的连接点断开，使接地体脱离任何连接关系成为独立体。
1）将两个接地探针沿接地体辐射方向分别插入距接地体20m、40m的地下，插人深度为400mm，如下图所示。
接地电阻测试使用图解：
a）实际操作
b）等效原理
2）将接地电阻测量仪平放于接地体附近，并进行接线，接线方法如下：
①用zui短的导线将接地体与接地测量仪的接线端“E1”（三端钮的测量仪）或与C2、”短接后的公共端（四端钮的测量仪）相连。
②用zui长的导线将距接地体40m的测量探针（电流探针）与测量仪的接线钮“C1”相连。
③用余下的长度居中的导线将距接地体⒛m的测量探针（电位探针）与测量仪的接线端“P1”相连。
3）将测量仪水平放置后，检查检流计的指针是否指向中心线，否则调节“零位调整器”使测量仪指针指向中心线。
4）将“倍率标度”（或称粗调旋钮）置于zui大倍数，并慢慢地转动发电机转柄（指针开始偏移），同时旋动“测量标度盘”（或称细调旋钮）使检流计指针指向中心线。
5）当检流计的指针接近于平衡时（指针近于中心线）加快摇动转柄，使其转速达到120r/min以上，同时调整“测量标度盘”，使指针指向中心线。
6）若“测量标度盘”的读数过小（小于1）不易读准确时，说明倍率标度倍数过大。此时应将“倍率标度”置于较小的倍数，重新调整“测量标度盘”使指针指向中心线上并读出准确读数。
7）计算测量结果，即R地=“倍率标度”读数ד测量标度盘”读数。