1. 精度高:双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm 量级,细分后更可达到nm量级。
2. 应用范围广:双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
3. 环境适应力强:即使光强衰减 90%,仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点,双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机,也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
4. 实时动态测量,测速高:现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1 m/s,有的甚至于十几m/s,适于高速动态测量。功率记录仪 电流记录仪 电压记录仪
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