LH3-SC200-SE高精密匀胶机性能指标

LH3-SC200-SE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。 
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中的zui大达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。 
主要性能指标： 
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁） 
旋涂程序：zui多存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒 
转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm 
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s 
马达旋涂转速稳定性能误差<±1rpm 
转速调节精度<1rpm，重复性<1rpm 
工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圆晶） 
旋涂作业均匀性：<±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量） 
产品特性优点： 
的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。 
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。 
on?/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。 
标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。 
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。 
排风和抽气系统位计于载片台之底部（以利于排风效率和匀胶均一性）。 
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。 
产品外型尺寸： 
613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)