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只要更换传感器单元就可以检测对象气体
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
大幅度削减成本和维护时间
产品简介
详细介绍
NEW COSMOS半导体用气体XPS-7
产品特点
- 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
- 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
- 大幅度削减成本和维护时间
技术参数
型号 | XPS-7 |
对象气体 | 半导体材料气体 |
检测原理 | 定电位电解式 |
取样方式 | 自动吸引式 |
测量范围 | 根据规格 |
分辨率 | 满量程的百分之一 |
指示精度 | FS±10%以内 |
报警方式 | 报警灯闪烁，蜂鸣器断续鸣叫 |
使用环境 | 0°C～+40°C |
电源 | 5号锰干电池4节或AC变压器 |
使用时间 | 连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） |
外形尺寸 | W762×H150×D128㎜(除去突起物) |
重量 | 约1.3kg |
标配附件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张 |
对象气体一览表 | ||||||||
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm | XDS-7GH | GeH4 | 1ppm | XDS-7HS | H2S | 50ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm | XDS-7CL | CL2 | 5ppm | XDS-7CO | CO | 250ppm |
XDS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XDS-7CF | CLF3 | 1ppm | XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb | XDS-7HC | HCL | 25ppm | XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm | XDS-7HF | HF | 10ppm | XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
XDS-7BH | B2H6 | 500ppb | XDS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XDS-7SE | H2Se | 250ppb | XDS-7NO | NO | 100ppm | |||
NEW COSMOS半导体用气体XPS-7