PlasmaPro 100 Estrelas_DSiE-牛津仪器(上海)有限公司

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更新时间：2022-11-30 17:35:40浏览次数：174评价

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DSiE

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产品简介

PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻（DSiE）领域的的灵活性以满足微电子机械系统（MEMS）、良好封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展，PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工艺灵活性。询价增加到询价列表在询价列表中查看此产品

详细介绍

PlasmaPro 100 Estrelas平台旨在确保覆盖MEMS，良好封装和纳米技术的广泛应用，从光滑侧壁工艺到高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀，不需要更换腔室硬件就可以实现。

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