ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器

美国ALICAT 21V系列带截止阀质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21V系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。该集成气动切断阀是常闭的，并且在闭合状态下其z大氦气泄漏率仅为1x10 atm scc/s。

产品特点 ：

● 数字化产品
● 带气动截止阀，泄漏率低
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（z多5种成分），并存储20种混合气

技术参数 ：

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量程比：200:1

z大显示流量：102.4%FS

显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

阀门泄漏率：不超过1x10 atm scc/sec (He)

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s

标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ºC

工作湿度：0-100%,无冷凝

标准z大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：250mA ～ 750mA

电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头

材质：316L,303&302不锈钢,Viton,硅胶RTV，玻璃增强尼龙

铝 ,黄铜,430FR 不锈钢, 硅，玻璃, PCTFE

安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们

产品选型 ：

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 真空行业及镀膜
● 半导体
● 光伏
● 过程工艺气体测量