ALICAT 气体质量流量计

美国ALICAT 10系列基本型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的10系列质量流量计用于快速准确地测量过程气体的质量流量，响应速度可达10ms。

产品特点 ：

● 低价位产品
● 标配模拟输出方式，数字可选
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需10ms

技术参数 ：

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类：单种气体标定，请参考背面气体兼容表

量程：从0-10SCCM 到 0-20SLPM

量程比：200:1

z大显示流量：128%FS

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

预热时间：<1s

响应时间：10ms

标定工况：25ºC & 100kPa 绝压

工作温度：-10 ～ +50 ºC

工作湿度：0-100%,无冷凝

标准z大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

输出信号：标准为模拟信号：0-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可选数字信号：RS-232

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：40mA

电气接口：DB15

材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40

产品选型 ：

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空镀膜
● 工业炉窑
● 半导体
● 汽车制造
● 光伏
● 燃料电池
● 计量
● 过程工艺气体测量