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产品介绍
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1
传感器单元 SP1 是一种传感器型皮拉尼真空计，其中集成了测量元件和电路，可节省成本和空间。
长处
节省成本和空间的传感器类型
灯丝材料由铂制成，具有优异的耐腐蚀性。
2 个设定点输出，测量元件输出：DC0~5V（非线性输出）
电源电压：DC24V 输入
用
用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空范围内的过程控制
用于窑炉和其他工业设备的低真空范围内的过程控制
用于具有许多工艺腔室的各种制造设备（如在线和单晶片）的低真空范围内的过程控制
| 类型 | 传感器单元 |
| 型 | 第 1 页 |
| 自适应测量元件 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
测量精度 | ±15 %（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30 %（10 帕 ~1000 帕） | |
| ±50 %（0.4 帕 ~3000 帕） | |
| 工作温度范围 | 10~40°C |
| 采样时间 | 50ms 5 移动平均线处理 |
测量值输出 | 非线性输出：DC0-5V（最大 10V） |
| （更新时间） 50 ms | |
| （分辨率） 10 mV | |
| 用于设定点 1/2 调整的输出 | 非线性输出：DC 0-5V（最大 10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED 指示 | 功率、错误、设定点 1/2 |
| 电源电压 | DC24V±2V， 90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6 螺丝） |
| 体重 | 190g （不包括测量元件） |
附属品 | 1 组 I/O 连接器 |
| 快速手册 （1 份） |
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