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3C阀门类别 | 工业 | 工作温度 | 其他 |
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类型(通道位置) | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
流动方向 | 其他 | 压力环境 | 其他 |
应用领域 | 综合 | 种类 | 其他 |
真空阀(Vacuum Valve)是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。
MIYUKI美幸辉 真空阀 ABR-C160
MIYUKI美幸辉 真空阀 ABR-C160
L 型阀
AB/AE/ABR/AER 系列
轴封方式(波纹管密封、O 形圈密封)可根据使用目的选择。
16A~50A 可用于单作用和双作用。
所有尺寸均与反压兼容。
真空阀(Vacuum Valve)是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。由于真空系统对密封性、材料放气率和耐压差有严格要求,真空阀的设计与普通阀门有显著区别。
真空阀根据工作原理可分为:
截止型真空阀(如真空挡板阀、真空蝶阀)——用于切断或接通气流。
调节型真空阀(如真空微调阀、针阀)——用于精确控制气体流量和压力。
放气阀(如真空破空阀)——用于向真空腔体引入大气,平衡压力。
真空阀广泛应用于半导体制造、真空镀膜、航天模拟、粒子加速器、医疗设备等领域,是真空系统的关键组件。
真空阀的应用领域
半导体与微电子制造
用于晶圆加工、刻蚀、CVD(化学气相沉积)和PVD(物理气相沉积)设备,控制工艺腔体的真空度。
真空镀膜与光学涂层
在磁控溅射、电子束蒸发等镀膜设备中,真空阀用于隔离不同腔室,确保镀膜均匀性。
科研与实验室设备
粒子加速器、同步辐射装置、质谱仪等超高真空系统依赖高精度真空阀维持稳定运行。
航天与空间模拟
用于卫星、航天器地面测试,模拟太空真空环境,确保设备在条件下的可靠性。