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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>实验室仪器及设备>>真空泵>> MU100XE 干式真空泵
| 产地类别 | 进口 | 产品类型 | 无油泵 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 仪器种类 | 真空泵 |
| 应用领域 | 食品/农产品,能源,制药/生物制药,综合 |
MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工业（KASHIYAMA）MU-XE 系列中的高性能干式真空泵，专为半导体、液晶显示器、LED 和光伏行业设计，具备无油洁净、节能环保、结构紧凑、易于维护等优势。凭借其可靠的性能和稳定的运行能力，MU100XE 已广泛应用于多种严苛的工艺环境中。
抽速：1660 L/min
极限压力：1.5 Pa
电源：三相 AC 200–220V，50/60Hz
功耗：约 0.25 kW
尺寸：450 × 230 × 275 mm
重量：约 60 kg
无油干式设计：无需油封，避免油蒸汽污染，特别适合洁净室和敏感工艺环境。
高抽速、低能耗：优化的Roots转子结构，提供高达1660 L/min的稳定抽速，节能高效。
结构紧凑，易集成：体积小巧，适用于空间受限的自动化设备或成套系统集成。
超低维护成本：部件寿命长，维护周期延长，降低运营成本。
适配性强：可兼容多种工艺气体环境，适用于CVD、PVD、刻蚀、封装等多种工艺流程。
半导体制造设备（刻蚀、沉积、蚀刻等）
液晶显示器（LCD）生产线
太阳能光伏组件制造
LED 芯片制造
电子封装与测试设备
真空镀膜和涂层系统
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