LINTEC林泰克日本直供 质量流量控制器 返回列表页

适用于Ar、N2等惰性气体及Air的流量控制。由于型号固定，所以制作周期较短。
选配VR（可变流量）功能可改变流量范围。支持RS-485数字通信接口

使用范例
LINTEC林泰克日本直供 质量流量控制器 MC-11RC-10
LINTEC林泰克日本直供 质量流量控制器 MC-11RC-10

PVD

在PVD溅射镀膜设备中，通常使用Ar（氩），这是一种稳定的、耐化学反应的惰性气体。 如果您需要使用MFC控制Ar之类的惰性气体的流量，我们建议使用经济型质量流量控制器（MC-10RC）。

惰性气体分析、实验设备

如果流量控制的目标气体不会腐蚀密封材中的树脂部分，我们建议使用经济型质量流量控制器MC-10RC。此外，可选的VR功能可支持不同气体类型与流量范围。该产品是简单实验、分析设备的理想选择。

规格表

※此表仅表示一般规格的MFC。　根据选配规格变化。

■简 介
●MC-10系列主要对应短制作时间及低成本考虑需求的质量    流量控制器
■特 点
●使用橡胶密封，着重低成本考虑
●流量精度于±1%F.S.内
●适用10SCCM～50SLM的宽广满量程流量范围
●可追加变更流量范围功能VR : (基准流量)÷(全流量)   ×C.F.=VR值，将不同VR值输入机台外部的3位数旋钮   即可选择不同气体种类及满量程流量
●搭载VR机能，一台质量流量控制器，可适用各种不同气体   以及满量程流量的变更，降低用户成本
●可追加RS-485通讯接口，最高可同时连接32台质量   流量控制器
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●采用高速度，高性能的电磁控制阀
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的  环境下亦能维持其安定性