ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 返回列表页

特点

■大气压附近的排气速度最大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下，
　这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)）
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科技术。
　该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS"无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本（*3)
■希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。
　通过组合使用排气速度可以达到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C时
（*2）C规格时
（*3）L规格还可以使用稀释气体。

用途

“Model:LS"有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型，适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说，包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。

其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能，适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。

规格

*1：到达压力时
*2：C式样不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏

排气速度曲线

LS120A	LS300A
LS600A	LS1200A

尺寸图