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KOFLOC 科赋乐 标准质量流量计  3760系列

KOFLOC 科赋乐 标准质量流量计  3760系列

MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列开发的紧凑型低成本质量流量计。
它是作为大学和研究机构研发应用的各种分析仪器和真空设备的标准模型而开发的。

• 配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应

• 我们不选择紧凑的身体设置的地方

• 标准规格

• 模型	3760	3765
  流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM）	10SCCM~20SLM（可选）	30SLM~100SLM（可选）
  传感器方式	热绕组传感器
  响应速度	在2秒内	在3秒内
  准确性	±1.0％FS（25°C）	±1.5％FS（25°C）
  温度系数	±0.1％FS /°C（15~35°C）	±0.2％FS /°C（15~35°C）
  再现性	±0.5％F.S.（20°C）
  耐压	980kPa（G）
  He泄漏率（* 1）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
  允许周围温度	5~45℃
  允许环境湿度	10~90%RH（无结露）
  气体接触材料	车身SUS316L
  	密封材料FKM（选件CR或NBR）
  电气连接	Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
  流量输出信号	0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
  所需电源	+15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA
  接头 （体型）	标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	标准3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等
  重量	约800g	约1000g