当前位置:北崎国际贸易(北京)有限公司>>KOFLOC 科赋乐>> 5410系列KOFLOC 科赋乐 低成本金属密封质量流量计
产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
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价格区间 | 1万-3万 | 介质分类 | 气体&液体 |
应用领域 | 医疗卫生,电子/电池,航空航天,电气,综合 |
KOFLOC 科赋乐 低成本金属密封质量流量计 5410系列
KOFLOC 科赋乐 低成本金属密封质量流量计 5410系列
提高每个流量范围的精度
适用于微流量(选项规格)
由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
价格便宜
流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) | 1SCCM~20SLM(任意条件选择) | |
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传感器方式 | 热绕组传感器 | |
准确性 | ±1%F.S.(20°C) | |
温度系数 | 0.1%F.S./°C(15~35°C) | |
再现性 | ±0.2%F.S.(20°C)内 | |
可工作压力 | 300kPa(G)以下 | |
耐压 | 980kPa(G) | |
He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
允许周围温度 | 0~50℃(精度保证温度15.35°C±0.1%FS /°C) | |
允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) | |
气体接触材料 | 车身SUS316L | |
隔膜Ni.Co | ||
阀座PTFE | ||
密封材料SUS316L,Ni | ||
电气连接 | Dsub 9针KFC 标准(符合SEMI标准) | |
流量设定 输入信号 | 0~5 VDC(最小负载电阻250kΩ以上) | |
所需电源 | +15 VDC(±5%)100 mA, -15 VDC(±5%)100 mA | |
配件(车身尺寸) | 标准1/4 VCR等效 | |
重量 | 约800g |
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