当前位置:北崎国际贸易(北京)有限公司>>KOFLOC 科赋乐>> 3200 系列KOFLOC 科赋乐 高档质量流量计
产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
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价格区间 | 1万-3万 | 介质分类 | 气体&液体 |
应用领域 | 医疗卫生,电子/电池,航空航天,电气,综合 |
KOFLOC 科赋乐 高档质量流量计 3200 系列
KOFLOC 科赋乐 高档质量流量计 3200 系列
配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器,实现高精度,高速响应
采用常闭阀门,方向操作安全
采用隔膜阀,减少死体积
F.1. SCCM分钟流量支持(SR选项)
低压差兼容燃气控制(LP选项)
流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) | 1SCCM~20SLM(任意条件选择) | |
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传感器方式 | 热绕组传感器 | |
阀门方法 | 比例螺线管阀门(未通电时关闭) | |
控制范围 | 2~100%(F.S.) | |
响应速度 | 1秒内(±2%FS内) | |
准确性 | ±1%FS(15~35°C) | |
再现性 | ±0.2%F.S. | |
操作压差范围 | F.S.≤5SLM 50. 300 kPa(G) | |
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa(G) | ||
选项:低压差规格(LP)可根据条件制造 | ||
可工作压力 | 300kPa(G)以下 | |
耐压 | 980kPa(G) | |
He泄漏率(* 1) | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
允许周围温度 | 0~50℃ | |
允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) | |
气体接触材料 | 车身SUS316L | |
隔膜SUS316 | ||
阀座PTFE | ||
电气连接 | Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准) | |
流量设定 输入信号 | 0~5VDC (输入阻抗1MΩ以上) | |
流量输出信号 | 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上) | |
所需电源 | +15 VDC(±5%)100 mA,-15 VDC(±5%)200 mA | |
配件(车身尺寸) | 标准1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF) 选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等 | |
重量 | 约1000g |
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