美国axometrics艾克松- 穆勒矩阵AR/VR光学量测系统
日本FLUORO福乐真空吸笔专为晶圆转移搬运设计,具有以下核心特性:
一、产品概述
专业适配性:专用于半导体晶圆的无污染转移,兼容硅晶圆等各类晶片及小型物体的吸附运输14。
模块化设计:可根据需求更换吸附头(晶圆吸附头、喷嘴或垫),适应不同形状和尺寸的运输对象1。
二、设计特点
材料性能
抗静电系列:采用传导性尼龙笔身与传导性PEEK吸头,电阻率范围为10⁶-10⁸Ω,有效消除静电干扰,适用于5寸、6寸、8寸晶圆56。
防酸系列:吸盘接头使用铁弗龙(Teflon)材质,耐化学腐蚀性强,适用于酸蚀环境或精密器械维修7。
轻量化结构:整体重量轻(约0.04kg),便于长时间操作且易于清洁12。
操作模式差异
F001:按下按钮吸气,松开即释放;适用需快速吸附的场景13。
F002:按下释放,松开吸附;耐高温及化学腐蚀,适合复杂工况12。
C003:抗静电型,带吸力切断按钮,可手动控制吸附状态15。
三、应用场景
半导体制造:用于晶圆的无损搬运,避免物理接触污染46。
精密工业:如钟表、珠宝制造,需防静电或耐腐蚀的精细化操作7。
四、配套设备
需搭配无油隔膜真空泵及抗静电真空管线(表面电阻率10³-10⁶Ω/cm²),确保系统无静电累积风险48。
FLUORO福乐真空吸笔通过多样化的型号与材料选择,满足半导体及精密制造业对洁净度、安全性与操作效率的严苛需求。