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日本FLUORO福乐真空吸笔专为晶圆转移搬运设计
  • 发布时间2025-03-05
  • 播放次数41次
视频简介

日本FLUORO福乐真空吸笔专为晶圆转移搬运设计,具有以下核心特性:

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一、产品概述

‌专业适配性‌:专用于半导体晶圆的无污染转移,兼容硅晶圆等各类晶片及小型物体的吸附运输‌14。

‌模块化设计‌:可根据需求更换吸附头(晶圆吸附头、喷嘴或垫),适应不同形状和尺寸的运输对象‌1。

二、设计特点

‌材料性能‌

‌抗静电系列‌:采用传导性尼龙笔身与传导性PEEK吸头,电阻率范围为10⁶-10⁸Ω,有效消除静电干扰,适用于5寸、6寸、8寸晶圆‌56。

‌防酸系列‌:吸盘接头使用铁弗龙(Teflon)材质,耐化学腐蚀性强,适用于酸蚀环境或精密器械维修‌7。

‌轻量化结构‌:整体重量轻(约0.04kg),便于长时间操作且易于清洁‌12。

‌操作模式差异‌

‌F001‌:按下按钮吸气,松开即释放;适用需快速吸附的场景‌13。

‌F002‌:按下释放,松开吸附;耐高温及化学腐蚀,适合复杂工况‌12。

‌C003‌:抗静电型,带吸力切断按钮,可手动控制吸附状态‌15。

三、应用场景

‌半导体制造‌:用于晶圆的无损搬运,避免物理接触污染‌46。

‌精密工业‌:如钟表、珠宝制造,需防静电或耐腐蚀的精细化操作‌7。

四、配套设备

需搭配无油隔膜真空泵及抗静电真空管线(表面电阻率10³-10⁶Ω/cm²),确保系统无静电累积风险‌48。

FLUORO福乐真空吸笔通过多样化的型号与材料选择,满足半导体及精密制造业对洁净度、安全性与操作效率的严苛需求。




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