池田屋现货EBARA荏原  水冷干式真空泵

池田屋现货EBARA荏原  水冷干式真空泵

1. EV-X型作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。

通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。特定以大幅的温度控制实现大范围的工艺覆盖；低能耗、占地小；可耐受腐蚀性气体（采用标准耐腐蚀材料）；适用案例：各种蚀刻以及CVD、灰化、离子注入、外延生长等。

2.EEV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附

加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 "。

特 点

低能耗占地小轻量化方面达到业内水平;耐腐蚀材料、氦气吹扫功能(可选);在不同频率(50/60Hz)下性能一致,通过增强的传感功能减少停机时间，

3.EV-M型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和运行成本的降低。

特 点产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求;兼顾高负荷与低功耗;可应对腐蚀性气体(标配耐腐蚀材料)

4.EST型采用螺杆型转子,可应对CVD等工艺副产物的生成,并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

特 点

可满足副产物生成的工艺(泵内气体可保持高温);抽气速率高、流量大;搭载转速自动控制功能(自适应气体流量大小);

可应对腐蚀性气体(标配耐腐蚀性材料);

搭载高性能通信功能优良的控制管理方式(数据保存功能、警报履历备份)

5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。

特 点适用于大型真空腔室的高速抽气场景，搭载转速自动控制功能(自适应泵的负荷);可满足有机溶剂要求的可选配件;搭载高性能通信功能;优良的控制管理方式

(数据保存功能、警报履历备份)

6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是无需冷却水、安装方便的小型风冷干式真空泵。以节能低噪为特点，适合各种分析机器、电子显微镜等清洁抽气用途。

特 点小型风冷泵;低噪音、低功耗;电源即插即用，安装灵活;通过CE、NRTL海外认证。

7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是无需冷却水、安装方便的小型风冷干式真空泵。在接近大气压环境下的抽气速率优异，是反复进行空气抽吸用途的选择。

特 点般真空抽气用的小型风冷泵;适用于大气压抽气，抽气峰值速率1000L/min;电源即插即用，安装灵活;通过CE、NRTL海外认证,

8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、轻量、节能为特点的清洁用途风冷干式真空泵。这款新一代干式真空泵有着即插即用的便携性，并且采用了非接触式密封设计以延长使用寿命。

特 点小型、轻量;风冷式、无需润滑油、即插即用;非接触式密封设计，无需更换封层、延长使用寿命。