半导体生产专用高压(鼓)风机 返回列表页

• 在半导体生产过程中，半导体生产专用高压(鼓)风机扮演着至关重要的角色。其主要作用是通过产生高压气体，送入半导体生产设备中，以提高生产效率和质量。具体应用包括：

• 气体输送方面

• 在半导体晶圆切割过程中，多级离心鼓风机（类似于高压风机功能）可将高纯度气体（如氮气、氩气等惰性气体）传递到加工区域，用于冷却、润滑和清洗，同时将磨屑等杂质从切割区域排出，确保晶圆表面完整无缺。并且在半导体生产中，能将气体输送到特定的处理装置，像物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等装置，这些装置需要精确的气体流量和压力，高压风机可通过调节叶轮来控制气体流量和压力，确保工艺参数的精确性。

• 制造环境营造方面

• 在半导体生产过程中，需要使用大量的气体来帮助制造半导体器件。高压风机可以产生高压气体，将其送入半导体生产设备中，提高半导体器件的生产效率和质量。同时，还可以帮助控制半导体生产设备中的气体流量和压力，确保半导体器件的生产效果和质量。

半导体生产高压风机的工作原理

高压风机是一种通过旋转叶轮产生高压风的设备。当电机带动叶轮旋转时，叶轮将空气吸入，并将其压缩成高压风。高压风通过出口管道排出，可用于各种不同的应用。其工作原理与其他类型的风机相似，但它的压缩比较高，可以产生更大的风压和风量。通常由电机、叶轮、进口管道、出口管道和控制系统等组成。

半导体生产专用高压(鼓)风机的特点

• 高风压和大风量

• 能够满足半导体生产中对气体压力和流量的要求，如在一些需要将气体快速输送到预定位置或者需要在较大空间内营造特定气体环境的场景下，高风压和大风量可以确保气体及时、足量供应。

• 精确控制气体流量和压力

• 如在晶圆切割时对不同加工步骤所需的气体流量和压力能精准调节，在气体处理装置（PVD、CVD等）中也能确保精确的工艺参数，这对于半导体这种对精度要求较高的生产过程非常关键。

• 稳定可靠

• 在长时间的半导体生产过程中能够持续稳定运行，为生产过程提供稳定的气体供应、压力和流量环境，避免因风机故障导致生产中断或者产品质量问题。