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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1-5千 | 介质分类 | 液体 |
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
进口HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造
D700uF（微流）专为≤5SCCM 流量应用而设计。≤5SCCM
流量控制在高纵横比工艺中非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
产品介绍
进口HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造
进口HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造
微流量压力不敏感质量流量模块
D700uF（微流）专为≤5SCCM 流量应用而设计。≤5SCCM
流量控制在高纵横比工艺中非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
低至 0.025SCCM 的流量控制能力
精确调节气体控制，增强工艺可调性
≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
实现高生产率和更佳工艺性能
内部流量计量
所有制造产品均具有可靠的性能
状态监视功能
提供更多内部数据以实现更智能的故障预测
PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭性能和耐腐蚀性能
坚固耐用，颗粒风险低，减少停机时间并优化产量
*1：请联系我们以获取支持的气体类型和满量程流量。
*2：流量精度可保证低至 0.1 SCCM N₂ 当量。
*3：这是在 25 ℃ 和 ≤ 1.0 × 10 -3 Pa(A) 下的保证值。
*4：这是在我们采用校准 N₂ 气体的条件下保证的值。设置时间可能因气体类型和操作环境条件而异。
*5：压力扰动必须小于每秒 20% 的压力变化和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*6：EtherCAT ®是德国 Beckhoff Automation GmbH
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