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进口供应HORIBA堀场气体浓度监测仪IR-300
2025-1-6 阅读(158)
# 2024年新品发布会#
日期：2024年1月6日
时间：8：30-18：30
近期我司新推出升级了进口供应HORIBA堀场气体浓度监测仪IR-300
用于鼓泡供应管线的在线气体浓度监测器。用于原料气体的稳定供应。 MOCVD（金属有机化学气相沉积）广泛应用于LED制造工艺和光学器件制造工艺中。该 MOCVD 设备采用液体/固体材料，通常使用鼓泡方法将其作为汽化气体输送到腔室。在该材料气体供应线路中，实时气体浓度监测对于实现稳定的薄膜沉积过程非常重要。气体浓度监测仪IR-300系列已安装在MOCVD设备的原料气供应线上，可实现在线高速气体浓度监测。支持原料气体的稳定供应。
实时监测响应 速度和重复性跟踪气体浓度变化 多种校准曲线功能（可选） 最多可安装 3 种测量气体/满量程浓度（=校准曲线）。 多显示器功能 配备多显示器，将主机顶部的多显示器与模式LED相结合，可现场检查浓度监测和供应线路信息。 通讯功能 支持DeviceNet通讯及兼容数字/模拟信号的通讯方式 设计紧凑简洁 ，尺寸124毫米，设计紧凑，安装位置不受限制。
