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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品类型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1万-2万 | 仪器种类 | 分子泵 |
| 应用领域 | 环保,化工,地矿,能源,电子/电池 |
OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵
特点：
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
产品介绍
OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空节能涡轮分子泵
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
经400次大气冲击验证多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
| 型号 | TG1400F | |
| 吸气口法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 1400 |
| N2(保護金網付) (L/s) | 1300 | |
| H2 (L/s) | 750 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 极限压力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大气体流量※1 | (sccm) | 450 |
| 启动时间 | (min) | 5.5-7 |
| 停止时间 | (min) | 15-18 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧250 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG・ISO-B/CF(kg) | 29/30 |
| 控制器型号 | TC1103 | |
※1：辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
