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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
中级会员·2年您现在的位置： 玉崎科学仪器（深圳）有限公司>>Osaka Vacuum大阪真空>> TG60F/TG60F-20Osaka Vacuum大阪真空小型通信复合分子泵
具体成交价以合同协议为准
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品类型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1万-2万 | 仪器种类 | 分子泵 |
| 应用领域 | 环保,化工,地矿,能源,电子/电池 |
Osaka Vacuum大阪真空小型通信复合分子泵
特点：
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
产品介绍
Osaka Vacuum大阪真空小型通信复合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型通信复合分子泵
全面安装
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
用途
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
| 型号 | TG60F | TG60F-20 | |
| 吸气口法兰 | ISO-R63、CF63、(KF40)※4 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 60 | |
| N2(附加金属保护网) (L/s) | 55 | ||
| H2 (L/s) | 22 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| VG・ISO-R/CF (Torr) | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大气体流量※1 | 自然风冷 N2 (sccm) | 10 | |
| 制风冷 N2 (sccm) | 20 | ||
| 启动时间 | (min) | 1.5-2 | |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 800 （6） | |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧25 | |
| 重量※2 | ISO-R/CF(kg) | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器型号※3 | TC65 | TC66 | |
| 输入电压（V） | DC24V | AC100-230V(±10%) | |
| 所需最大电力（W) | 120W | 160VA | |
※1：辅助泵的容量是25L/min情况下的最大容许流量
※2：TG60F的情况。TG60F-20查看右方记载。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可选择泵和控制器一体型(TC65)或者是分离式型(TC66)
※4：关于吸气口法兰KF40的规格请另行咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
