18772609610,18319843923
当前位置：研启科学仪器（东莞）有限公司>> 全新实验室型等离子清洗机
一、产品介绍：
CIF推出全新一代实验室型等离子体清洗设备，传统等离子体清洗设备设计理念，可中试生产、模拟生产条件，几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓，上开盖下压式铰链开关方式，上置式360度自由取放样品托盘设计，具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
二、产品特点
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。
u PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
u 石英真空仓，真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
u 采用质量流量计实现对气体输入精准控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
u HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
u 60度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
u 顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。
u 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
u 上置式360度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
u 有效清洗面积大，可清洗直径8寸硅片。
u 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品，进行清洗和改性。
u 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | CPC-G | CPC-G plus | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 6.8L | 6.8L | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 | 10-600W可调 | 10-300W可调 |
处理尺寸 | Φ270mm 圆盘 | Φ370mm圆盘 | ||
产品尺寸 | L525xW425xH345mm | L618xW520xH465mm | ||
包装尺寸 | L645xW540xH560mm | L750xW640xH570mm | ||
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路） | |||
时间设定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
气体稳定时间 | 1分钟 | |||
真空度 | 100pa以内 | |||
电源 | AC220V 50-60Hz | |||
请输入账号
请输入密码
请输验证码
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，化工仪器网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
化工仪器网