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当前位置：研启科学仪器（东莞）有限公司>> 智能型多功能椭偏仪
v Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）
v 光谱范围：450nm to 1000nm
v 光谱分辨率：优于3nm
v 光源：卤素灯和蓝光LED
v 测试时间：小于1秒到10秒
v 光斑尺寸:
Ø 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,
Ø 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,
Ø 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,
Ø 500µm*500µm
v 入射角：450 to 900 ，步径50
v 样品尺寸：200mm以内
v 样品准直：手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角
v 空气对射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
v 厚度准确性：0.04%
v 厚度重复性：±0.02%
v 可选附件：
Ø 全自动量角器，入射角度从450 到900可调，步径0.010
Ø 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
Ø 冷热台，液体样品池和电化学反应池
Ø 十字星自准直系统
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