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v 为了识别前沿封装微电子应用中最小和最细微的缺陷,ECHO VS包括标准功能,如用于声耦合的热水、用于有效捕获用数据的灵活TAMI、用于提高信噪比的波形平均、ICEBERG用于提高图像质量,MFCI用于在的应用中增强图像质量。ECHO VS是用于成型倒装芯片、CSP、MCM、叠片、MUF和其他封装技术的超声波无损检测设备
v 检测薄至0.01μm的空气缺陷,并在空间上解决低至5μm的缺陷
v 图像优化,提高复杂模制倒装芯片(MUF)和具有聚酰亚胺层的封装的图像质量
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