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Nikon S204B扫描式光刻机

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更新时间：2024-10-22 16:35:12浏览次数：262次

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产品简介
NikonS204B1

详情介绍

Nikon S204B

1.Nikon S204B扫描式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.18µm

主要用于4寸、6寸及8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.18µm

N.A.0.68

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光现场25mm*33mm

对准精度

LSA：40nm

FIA：45nm

3.更多服务

提供中英文软件及4"、6"、8"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材



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