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Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机

Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
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更新时间：2024-10-22 16:33:06浏览次数：176次

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产品简介
NikonNSR2005i10C1

详情介绍

Nikon NSR 2005i10C

1.Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.45µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.45µm

N.A.0.57

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光现场20mm*20mm

对准精度

LSA：100nm

FIA：110nm



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