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当前位置:深圳秋山工业设备有限公司>>传感器设备>>传感器>> 4100/4150型Entegris压力传感器耐腐蚀化学品高精度测量
应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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Entegris压力传感器耐腐蚀化学品高精度测量 Entegris 4100/4150型 特点介绍
4100型
无论您是为了自动化、过程控制还是安全而测量压力,您的测量都必须干净、准确且可靠。
为了满足半导体行业的需求,Entegris 将最新的电子传感器技术与高度清洁的材料相结合,生产出能够对工艺变化进行高度控制的先进产品。
在高纯度应用中可靠测量腐蚀性化学品和 CMP 浆料中的压力
所有装置在发货前均经过功能测试,精度为满量程的 1%
无活动部件,减少颗粒产生
接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®,适用于高纯度应用
行业标准 Flaretek® 连接减少了池化和占地面积。它还允许灵活的系统设计并且易于安装。
4150型
可用于氢氟酸和负压
使用耐化学腐蚀的蓝宝石压力传感器准确可靠地测量惰性气体真空
监控过程条件可提高安全性和系统性能
所有装置在发货前均经过功能测试,精度为满量程的 1%
可连接电子显示/监控系统
无移动部件,无填充液,消除了污染的可能性
非金属传感器技术可实现可靠的测量
接液部件为 PTFE、蓝宝石和 Kalrez®,适用于高纯度应用
紧凑的设计使安装变得容易
行业标准 Flaretek® 连接减少了池化和占地面积。它还允许灵活的系统设计并且易于安装。
Entegris压力传感器耐腐蚀化学品高精度测量 Entegris 4100/4150型 规格参数
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