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当前位置:深圳秋山工业设备有限公司>>过程控制仪器>>压力控制器>> SR-2HH/SRQ-1HH日本e-yamato高纯气体用压力调节器半导体用
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 3千-6千 |
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应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
日本e-yamato高纯气体用压力调节器半导体用 SR-2HH/SRQ-1HH 特点介绍
高纯度气体(纯度99.999~99.99999%)和腐蚀性气体的供应。
SR-1HLVI具有特殊结构,即使从调节器出口抽真空,二次室也能获得1X104torr以上的高真空。
即使进行抽真空,气体也不会从入口侧(一次侧)流动。
可作为经济产业大臣认证品生产。在高压气体设备中使用时,请选择合格品。
也可制作流动方向体、左侧入口(左高压)型。
日本e-yamato高纯气体用压力调节器半导体用 SR-2HH/SRQ-1HH 规格参数
SR-2HH
SRQ-1HH
一次侧压力(MPa)
2~20
4~20
二次侧使用压力(MPa)
1~15
3~15
使用温度(度C)
-10~40(股计温度:-10~7摄氏度)
3/8
1/4
外部记录量(Pam2/sec)
螺纹接头:1.01x10-以下焊接头:1.02x10-以下
接气主
本体
SUS316
SUS316L
要部材質
材貿記号
隔膜
SUS316
哈斯特洛伊
脱身
弁材
PEEK
PEEK
476
其他
SUS316.SUS304.PTFE
SUS316L.SUS316.PTFE
过滤器粗糙度
40μm
40μm
質
量
(km)
4.3
1.3
標準流量
2/mininorNe)
1200(P=20MPa,P2=15MPa)。
160(P=15MPa,Pe=12MPa)
最大流量
/min(ar.N)
1600(P1=20MPa,Pz=15MPa)。
200(P=15MPa,Pz=12MPa)。
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