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2024/09/20
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• 由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构，有效降低累积误差；
• 平动行程：X, Y, Z ±10 mm, ±10 mm, ±5 mm；
• 角摆行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；
• 最小步伐：20 nm /1 μrad；
• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高；
• 可提供真空环境规格；