1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

产品型号

1700℃单温区三通道混气 CVD 系统 GSL-1700X-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，有效减少能量损失。

3 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和延长使用寿命。

4 、采用 PID 控制器 ，可以设置 30 段升降温程序，并设有过热和断偶保护功能。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

管式炉

1 、电源： 单相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    5KW

2、炉管： 99.8%高纯氧化铝陶瓷管， 外径 Ø80mm ，内径 Ø72mm ，长 1000mm

3、加热元件： 1800℃级硅钼棒 8 根

4、加热区域： 457mm

5、恒温区域： 150mm

6 、工作温度：  1700℃

7、升降温速率： 5℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、真空度： 5×10-2 torr

10、泄漏率：  6mtorr/min

真空系统

1、真空泵：双旋片机械泵

2、可达真空度： 5×10-2 torr

3、法兰：不锈钢密封法兰

4、针阀： 2 个不锈钢针阀

5、真空泵接口： KF-25

6、软管接头： 1/4″

7、真空显示计： LED 数字式真空显示计， 测量范围 0.1mtorr-850torr

浮子流量混气系统

1、浮子流量计： 3 个， 精确度 4%FS

2、流量计范围： 10cc/min-100cc/min ，16cc/min-160cc/min ，25cc/min-250cc/min

3、压力表： 1 个，监测混合气体压力

产品规格

尺寸：管式炉 550mm×500mm×700mm，混气系统 600mm×600mm×700mm，真空机组 600mm× 600mm×700mm

重量： 210kg

可选配件

防腐型数字式真空显示计