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产品简介
详细介绍
产品简介：
PCE-6 小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm 的石英腔体， 采用的射频电源功率 3.0MHz（ 1%），输出功率 7.2W 、10.2W 、29.6W 三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等 离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质 （如亲水和疏水性等），对于基片的 清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
| 产品型号 | PCE-6 小型等离子清洗机 |
| 主要特点 | 1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。 2 、时间、功率、 真空度等信息显示在一组 4 位数码管上。
3 、设有一个三通阀， 可精确控制进气流量， 以及大气流清洗腔体，进气接口为 6mm 卡套 接口。 4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。 |
| 技术参数 | 1 、电源： AC220V 50/60Hz 2、输出功率： 7.2W 、10.2W 、29.6W 3、真空泵功率： <500W 4、总功率： <600W 5、射频频率： 3.0MHz ，功率 3 档可手动调节 6 、等离子腔体： 高纯石英腔体， Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰 上设有 Ø45mm 的观察窗 7、真空泵： 240L/min，直连式双旋真空泵 8、极限真空度： 50mtorr 9 、通入气体： 可通入多种气体来产生等离子， 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合气体等（根 据材料性质选定） |
| 清洗及蚀刻 |
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| 产品规格 | 尺寸： 400mm×300mm×300mm，重量： 10.2kg |
| 可选配件 | 1 、2"-6"石英舟（盛放基片） 2 、2-4 通道质子或浮子混气系统 |
