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深圳市京都玉崎电子有限公司
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- www.tamasaki.cn
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 1万-2万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,生物产业,能源,建材/家具,综合 | 供货号 | 137.1702.5688 |
特点
传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化
测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
电源电压：24 VDC输入
产品介绍
ULVAC 爱发科 现货日本 皮拉尼真空计
ULVAC 爱发科 现货日本 皮拉尼真空计
特点
传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
电源电压：24 VDC输入
用途
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
规格
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容的传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15%（51Pa～760Pa） |
| ±30%（10Pa～1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa～3000Pa） | |
| 工作温度范围 | 10～40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 设定点 1/2 压力设定调节监视器 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定值 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、错误、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V，90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 重量 | 190克/0.41磅（不包括传感器头） |
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