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日本TORAY东丽用于半导体的氧气分析仪MS-500
日本TORAY东丽用于半导体的氧气分析仪MS-500
测量原理/选型/维护基础
氧化锆陶瓷的两面均加工有电极，有在高温下一侧电极电离氧分子，另一侧电极将氧离子还原成氧分子的特性。这种性质称为离子传导，离子传导程度随着氧化锆陶瓷两侧氧浓度差的增大而增大。在此期间，电子在两个电极之间交换，离子传导的程度（=氧化锆陶瓷两侧的氧浓度差）可以被提取为两个电极之间的电动势的大小。如下图所示，根据能斯特理论公式可以得到这个电动势的稳定值，因此东丽氧化锆传感器可以提供稳定可靠的氧气浓度值。
由于氧气浓度计内部有电炉，因此不能在安装气氛为防爆的区域使用。
如果可燃气体（如氢气、甲烷、酒精、一氧化碳等）进入氧气计内部，会发生燃烧反应，导致测量误差。
有机二氧化硅（用于密封剂等）会导致传感器劣化。（这是传感器劣化的最常见原因之一。
卤素（尤其是氯）会导致传感器故障。
如果一氧化碳等热值较高的物质间歇性地混入传感器中，则会接收热历史并导致传感器故障。
如果混入大量Nox、Sox等腐蚀性气体，会导致传感器故障。
氟利昂气体在高温下可能会引起分离反应，导致传感器劣化。
水滴、灰尘和雾气可能会损坏传感器、缩短其使用寿命并导致错误。测量含有这些气体的气体时，请在将其流入氧气浓度计之前先将其除去。购买前请咨询我们有关去除方法。
如果您在选择型号时遇到困难，请参考下表。
| 目的 | 兼容型号 | 解释 | 其他选项 |
|---|---|---|---|
| 半导体、液晶、 电子元件 | MS-500 | 用于安装在半导体制造设备等上，最多可测量8点 | |
| LC-450A | 兼容 ppm 级测量，交流电源类型 |
| |
| LC-450D | 支持ppm级测量，DC电源类型 | ||
| LC-860 | 兼容 ppb 级测量，交流电源类型 | ||
| SD/LD-450 | 真空室安装型（用于设备集成） | 交流电源装置：DU-450 | |
| 烧成炉/ 氮气回流焊/ 废气 | RF-400 | 具有氧传感器保护功能的烘烤炉/回流焊专用机 |
|
| LC-750H/PC-111 | 内置抽气泵，适用于中高浓度污浊气体 | ||
| 天然气装置/ 空气分离 | LC-750H | 中/高浓度通用型 | |
| LC-750H/PC-110 | 内置抽气泵，适用于中高浓度清洁气体 | ||
| LC-750L | 低浓度通用型 | ||
| LC-750L/PC-120 | 内置抽气泵，适用于低浓度清洁气体 | ||
| 真空沉积/ 密封炉/ 手套箱 | SD/LD-450 | 分离式传感器/转换器型、薄壁安装转换器 | 交流电源装置：DU-450 |
| 食品包装 | LC-450F | 用于充气后取样检查（取样探头） |
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| LC-750F | 用于充气后取样检查（注射器） | ||
| LF-200 | 用于安装在气体灌装自动包装机上 |
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